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LMSP系列線性馬達

LMSP系列線性馬達
HIWIN平面馬達可視為一種特殊的磁阻式步進馬達,具無磨耗、零背隙、低頓力與低速度鏈波等特性。可應用于:半導體曝光系統、電子組件檢測、輕量化平臺、視覺檢測、自動取放、對象夾持與電子插件等。

 LMSP系列線性馬達特點:

◆ 重現精度(單方向):1µm

◆ 內建位置回饋系統

◆ 採用空氣軸承

◆ 可倒掛使用

◆ 可多頭獨立運動(4個動子)

 LMSP系列線性馬達圖紙及其規格參數如下:

lmsp.jpg

LMSP系列規格 符號 單位 LMSP*1 LMSPZ1 LMSP*2
最大推力 Tm N 75 140
解析度 Rs mm 0.001
重現精度(單方面) Rp mm 0.002 0.001 0.002
精度(每300mm) Ac mm ±0.015
最大速度(無負載) V m/s 0.9 0.8
最大負載 - kg 12.2 24.3
長度 Lf mm 154 175
寬度 Wf mm 184 320
高度 Hf mm 28 30
供應氣壓 Pa kg/cm² 3-4
空氣消耗量 Fa l/min 6.4 11
質量 Mf kg 1.8 3.7
固定孔位 Af*Bf mm*mm 146*87.5 72*140
LMSP系列規格 符號 單位 P1 P2 P3 P4 P5 P6
定子尺寸 Ls*Ws mm 350*330 450*450 600*450 600*600 1000*600 850*850
最大行程(單一動子) LMSP*1 mm 190*140 290*260 440*260 440*410 840*410 690*660
LMSPZ1
LMSP*2 - 270*125 420*125 420*275 820*275 670*525
定子高度 Hs mm 50 70 100 120
定子質量 - kg 27 36 52 66 120 250
固定孔位 As*Bs mm 165*310 213*426 288*426 288*576 (318-324-318)*280 400*400
固定孔數目 - 6 10 9
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